اثرات آب برروي رفتار و خواص سيليكون مورد استفاده در ساختار سيستم هاي الكترو مكانيكي (MEMS)
سيليكون ماده اي است كه در بيشتر سيستم هاي الكترو مكانيكي (mems) مورد استفاده قرار مي گيرد از اينرو رفتارهاي سيليكون درتماس با اب ، هوا و رطوبت در اين تحقيق مورد بررسي شده است .در قسمت اول قدرت شكست سيليكون در آب بررسي شده وبه كمك AFM و تصاوير ان در مقياس ميكروني و مقايسه ساختار SI-O-SI ...
پاورپوینت شهر الکترونیکی و دولت الکترونیکی